Realizar el vacío previo de una cámara a través de un orificio pequeño o una válvula parcialmente abierta durante la primera parte del pump-down, para luego cambiar a la línea de vacío previo completa, a menudo en algún punto entre 100 y 10 mbar. El inicio suave mantiene las partículas en las paredes en lugar de en las obleas y limita el enfriamiento por expansión repentina que puede condensar el agua en forma de niebla. Las cámaras de carga de las fábricas de semiconductores ejecutan un paso de soft pump y otro de soft vent en cada ciclo.
Soft pump's set to switch at 20 torr, any faster and we see adders on the particle wafer.
En español sencillo El soft pump está configurado para cambiar a 20 torr, si va más rápido veremos partículas añadidas en la oblea de prueba.
También se escucha como
- slow pump
- soft rough
Términos relacionados
Rough out
Bombear una cámara ventilada desde la presión atmosférica hasta el punto de transición con la bomba de vacío previo, antes de que se abra la válvula de alto vacío.
Fogging
Niebla que se forma dentro de una cámara durante un pump-down rápido cuando el aire en expansión se enfría y su agua se condensa.
Vent
Introducir gas de nuevo en una cámara evacuada, normalmente nitrógeno seco, para llevarla a presión atmosférica.
Viscous flow
Régimen de flujo en el que las moléculas chocan principalmente entre sí, por lo que el gas se desplaza como un fluido continuo.