Pomper une chambre à travers un petit orifice ou une vanne partiellement ouverte pendant la première partie du pompage, puis basculer sur la ligne de prévide principale, souvent entre 100 et 10 mbar. Ce démarrage en douceur maintient les particules sur les parois plutôt que sur les plaquettes de silicium et limite le refroidissement par détente soudaine qui peut condenser l'eau sous forme de brouillard. Les sas de chargement des usines de semi-conducteurs exécutent une étape de soft pump et de soft vent à chaque cycle.
Soft pump's set to switch at 20 torr, any faster and we see adders on the particle wafer.
En français simple Le soft pump est configuré pour basculer à 20 torr, si on va plus vite, on constate des ajouts de défauts sur la plaquette de test de particules.
Aussi entendu sous
- slow pump
- soft rough
Termes associés
Rough out
Pomper une chambre remise à l'atmosphère jusqu'au point de transition avec la pompe de prévide, avant l'ouverture de la vanne de vide poussé.
Fogging
Brouillard qui se forme à l'intérieur d'une chambre lors d'un pompage rapide lorsque l'air en expansion se refroidit et que son eau se condense.
Vent
Introduire du gaz dans une chambre sous vide, généralement de l'azote sec, pour la ramener à la pression atmosphérique.
Viscous flow
Régime d'écoulement à pression relativement élevée où les molécules entrent principalement en collision les unes avec les autres, de sorte que le gaz se déplace comme un fluide continu.