Le moment, et la pression, auxquels la vanne de prévide se ferme et la vanne de vide poussé s'ouvre. Effectuer le crossover à une pression trop élevée soumet la pompe à vide poussé à une bouffée de gaz qu'elle ne peut pas gérer : une pompe cryogénique surcharge et se réchauffe, une pompe à diffusion cale et refoule, une turbo subit un freinage brutal. Les pompes cryogéniques ont une limite de crossover nominale en mbar·L ou Torr·L, de sorte que la pression de crossover maximale autorisée est cette valeur divisée par le volume de la chambre.
Cryo's rated for 150 torr-litres and the chamber's 500 litres, so cross over at 0.3 torr, not a hair above.
En français simple La pompe cryogénique est prévue pour 150 torr-litres et la chambre fait 500 litres, faites donc le crossover à 0.3 torr, pas un poil au-dessus.
Si le volume de la chambre change, par exemple après l'ajout d'un grand outillage ou d'un nouveau raccord, recalculez la pression de crossover plutôt que de copier l'ancienne recette.
Aussi entendu sous
- crossover pressure
- cross over
Termes associés
Rough out
Pomper une chambre remise à l'atmosphère jusqu'au point de transition avec la pompe de prévide, avant l'ouverture de la vanne de vide poussé.
Cryopump
Pompe à transfert qui congèle et adsorbe les gaz sur des surfaces refroidies à environ 10 à 20 K par un réfrigérateur à cycle fermé.
Gate valve
Vanne à passage intégral dotée d'un clapet coulissant qui isole une pompe à vide poussé ou un sas de chargement de la chambre.
Roughing pump
Pompe qui descend une chambre de l'atmosphère jusqu'à la pression à laquelle la pompe à vide poussé peut prendre le relais.
Pump down
Évacuer une chambre de l'atmosphère à sa pression de travail, en passant par le prévide, le point de transition et le vide poussé.