Faire passer une chambre de la pression atmosphérique à la pression de service. En tant que nom, un pump-down désigne toute la séquence allant du prévide au point de transition (crossover), puis à l'ouverture de la vanne de vide poussé et au pompage jusqu'à la pression de base ou de procédé. Dans la plage de prévide, le temps suit la formule t = (V/S)·ln(p0/p), définie par le volume et la vitesse de la pompe, tandis qu'en vide poussé, le dégazage prend le relais, de sorte qu'une chambre propre et sèche effectue son pump-down en quelques minutes alors qu'une chambre humide prend des heures.
Pumped down at seven and we're at 5E-6 already, the door seal must have been the problem.
En français simple Le pump down a commencé à sept heures et nous sommes déjà à 5E-6, le joint de la porte devait être le problème.
Notez le temps nécessaire pour atteindre le crossover et une pression de référence à chaque cycle. Une dérive lente vers le haut signale une chambre humide ou une pompe fatiguée bien avant que la pression de base ne soit affectée.
Aussi entendu sous
- pump-down
- pumpdown
- evacuate
Termes associés
Rough out
Pomper une chambre remise à l'atmosphère jusqu'au point de transition avec la pompe de prévide, avant l'ouverture de la vanne de vide poussé.
Crossover
Point d'un pompage où le pompage bascule de la pompe de prévide à la pompe à vide poussé.
Pump-down curve
Tracé de la pression de la chambre en fonction du temps pendant un pompage, utilisé comme signature d'un système sain.
Vent
Introduire du gaz dans une chambre sous vide, généralement de l'azote sec, pour la ramener à la pression atmosphérique.
Base pressure
La pression la plus basse qu'une chambre donnée atteint après un temps de pompage défini, sans flux de gaz de procédé.