Un enregistrement de la pression logarithmique en fonction du temps, de l'atmosphère jusqu'à la pression de base. La section de prévide descend rapidement et de manière abrupte, puis, en vide poussé, la courbe s'aplatit à mesure que le dégazage prend le relais. Sa forme indique à un œil expérimenté ce qui limite le système : une fuite la stabilise à une pression fixe, tandis que l'eau donne une longue traîne qui descend lentement. Enregistrer une courbe de référence lorsque la machine est neuve permet de rendre les problèmes ultérieurs évidents par superposition.
Overlay the latest pump-down curve on the one from install, we're a decade high after thirty minutes.
En français simple Superposez la dernière pump-down curve sur celle de l'installation, nous sommes une décade trop haut après trente minutes.
Aussi entendu sous
- pumpdown curve
- P versus t
Termes associés
Pump down
Évacuer une chambre de l'atmosphère à sa pression de travail, en passant par le prévide, le point de transition et le vide poussé.
Base pressure
La pression la plus basse qu'une chambre donnée atteint après un temps de pompage défini, sans flux de gaz de procédé.
Wet
Se dit d'une chambre dont les parois contiennent encore de l'eau adsorbée, ce qui ralentit le pompage et bloque la pression à un niveau élevé.
Rate of rise
Test consistant à isoler une chambre pompée et à suivre la vitesse de remontée de la pression pour estimer les fuites et le dégazage.
Outgassing
Libération lente de gaz par les surfaces et le volume des matériaux à l'intérieur d'un système sous vide.