Un test dans lequel la chambre est isolée de ses pompes par une vanne et la remontée de pression est enregistrée au fil du temps. L'apport de gaz est Q = V·Δp/Δt. Une fuite réelle donne une ligne droite qui continue de monter, tandis que le dégazage ou une fuite virtuelle donne une courbe qui s'amortit à mesure que les surfaces se saturent ou que la poche piégée se vide. Les spécifications des fours sous vide limitent généralement cette valeur à un chiffre tel que 10 microns par heure.
Rate of rise on furnace 4 is 25 microns an hour and dead linear, that's a real leak, not wet walls.
En français simple Le rate of rise sur le four 4 est de 25 microns par heure et parfaitement linéaire, c'est une fuite réelle, pas des parois humides.
Tracez les données de remontée de pression sur des axes linéaires, pas sur une échelle logarithmique. Une ligne droite sur des axes linéaires est la signature d'une fuite réelle.
Aussi entendu sous
- ROR
- leak-up rate
- leak-back test
- pressure rise test
Termes associés
Virtual leak
Gaz piégé dans une poche cachée à l'intérieur du vide qui s'échappe lentement et se comporte comme une petite fuite réelle.
Outgassing
Libération lente de gaz par les surfaces et le volume des matériaux à l'intérieur d'un système sous vide.
Leak rate
Quantité de gaz pénétrant dans un système de vide par une fuite par unité de temps, généralement exprimée en mbar·L/s.
Base pressure
La pression la plus basse qu'une chambre donnée atteint après un temps de pompage défini, sans flux de gaz de procédé.
Micron
Nom d'usage pour un millitorr, un millième de Torr, utilisé dans les ateliers de traitement thermique, les laboratoires et le secteur du froid aux États-Unis.