Una prueba en la que la cámara se aísla de sus bombas mediante válvulas y se registra el aumento de presión a lo largo del tiempo; la entrada de gas es Q = V·Δp/Δt. Una fuga real da una línea recta que sigue subiendo, mientras que la desgasificación o una fuga virtual dan una curva que se aplana a medida que las superficies se saturan o la cavidad atrapada se vacía. Las especificaciones de los hornos de vacío suelen limitarla a un valor como 10 micras por hora.
Rate of rise on furnace 4 is 25 microns an hour and dead linear, that's a real leak, not wet walls.
En español sencillo El rate of rise en el horno 4 es de 25 micras por hora y totalmente lineal, eso es una fuga real, no paredes húmedas.
Represente los datos del rate-of-rise en ejes lineales, no en escala logarítmica; una línea recta en ejes lineales es la firma de una fuga real.
También se escucha como
- ROR
- leak-up rate
- leak-back test
- pressure rise test
Términos relacionados
Virtual leak
Gas atrapado en una cavidad oculta dentro del vacío que se libera lentamente y se comporta como una pequeña fuga real.
Outgassing
Liberación lenta de gas desde las superficies y el interior de los materiales dentro de un sistema de vacío.
Leak rate
Cantidad de gas que entra en un sistema de vacío a través de una fuga por unidad de tiempo, normalmente en mbar·L/s.
Base pressure
La presión más baja que alcanza una cámara concreta tras bombear durante un tiempo determinado sin flujo de gas de proceso.
Micron
Nombre informal en el taller para el militorr, una milésima de Torr, utilizado en talleres de hornos, laboratorios y trabajos de refrigeración en EE. UU.