El ciclo que vacía una "cryopump" saturada: las etapas frías se calientan, normalmente con calentadores y una purga de nitrógeno seco, el gas liberado se bombea en vacío primario y la bomba se enfría de nuevo a la temperatura de funcionamiento. Un "regen" completo lleva varias horas, mientras que un "regen" rápido o parcial calienta solo una parte de la bomba. Los técnicos programan los "regens" por la carga acumulada de argón o hidrógeno, o cuando la temperatura de la segunda etapa sube por encima de unos 20 K.
Cryo on PVD 2 is in regen till about 3 a.m., don't queue any lots on that chamber.
En español sencillo La "cryo" de la PVD 2 está en "regen" hasta las 3 a.m. aproximadamente, no ponga lotes en cola para esa cámara.
También se escucha como
- regeneration
- regen cycle
Términos relacionados
Cryopump
Bomba de captura que congela y adsorbe el gas en superficies enfriadas a unos 10 o 20 K mediante un refrigerador de ciclo cerrado.
Crossover
Punto en un pump-down donde el bombeo cambia de la bomba de vacío previo a la bomba de alto vacío.
Rough out
Bombear una cámara ventilada desde la presión atmosférica hasta el punto de transición con la bomba de vacío previo, antes de que se abra la válvula de alto vacío.
Misma palabra, mundos diferentes
Forma abreviada de amplificador regenerativo, la cavidad que atrapa un pulso semilla para realizar muchas pasadas de ganancia antes de liberarlo.
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