Der Zyklus, der eine gesättigte Kryopumpe entleert: Die kalten Stufen werden erwärmt, meist mit Heizungen und einer Spülung mit trockenem Stickstoff, das freigesetzte Gas wird vorvakuumiert und die Pumpe wieder auf Betriebstemperatur abgekühlt. Eine vollständige regen dauert mehrere Stunden, während eine schnelle oder partielle Regeneration nur einen Teil der Pumpe erwärmt. Techniker planen regens nach der angesammelten Argon- oder Wasserstofflast oder wenn die Temperatur der zweiten Stufe über etwa 20 K steigt.
Cryo on PVD 2 is in regen till about 3 a.m., don't queue any lots on that chamber.
In klarem Deutsch Die cryo an PVD 2 ist bis etwa 3 Uhr morgens in der regen, plane keine Chargen für diese Kammer ein.
Auch bekannt als
- regeneration
- regen cycle
Verwandte Begriffe
Cryopump
Kondensationspumpe, die Gas auf Oberflächen ausfriert und adsorbiert, die durch einen geschlossenen Kältekreislauf auf etwa 10 bis 20 K gekühlt werden.
Crossover
Punkt während des Evakuierens, an dem das Pumpen von der Vorpumpe auf die Hochvakuumpumpe umgeschaltet wird.
Rough out
Das Evakuieren einer belüfteten Kammer von Atmosphärendruck bis zum Crossover mit der Vorpumpe, bevor sich das Hochvakuumventil öffnet.
Gleiches Wort, verschiedene Welten
Kurzform von Regenerative Amplifier (Regenerativverstärker): der Resonator, der einen Seedpuls für viele Verstärkungsdurchgänge einfängt, bevor er ihn freigibt.
Kfz-Reparatur & AutomobileDer Prozess der Rückgewinnung kinetischer Energie beim Verzögern in Elektro- und Hybridfahrzeugen.