Eine Pumpe (Kryopumpe), die Gas speichert, anstatt es auszustoßen, und dazu einen zweistufigen Helium-Kühler (den Kaltkopf) verwendet, der von einem Kompressor angetrieben wird. Die erste Stufe bei etwa 50 bis 80 K kondensiert Wasser, die zweite Stufe bei 10 to 20 K friert Stickstoff, Sauerstoff und Argon aus, und Aktivkohle auf der zweiten Stufe adsorbiert Wasserstoff, Helium und Neon. Sie bietet ein sehr hohes Saugvermögen für Wasser und ein sauberes, ölfreies Vakuum, füllt sich jedoch und muss regeneriert werden.
Cryo's second stage is reading 18 K and climbing, she's full, schedule a regen tonight.
In klarem Deutsch Die zweite Stufe der cryo zeigt 18 K an und steigt weiter, sie ist voll, plane für heute Nacht eine Regeneration ein.
Eine cryopump gibt beim Erwärmen alles frei, was sie enthält, weshalb sie ein Überdruckventil besitzt; blockieren Sie niemals den Auslassweg bei der Regeneration.
Auch bekannt als
- cryo
- cryogenic pump
Verwandte Begriffe
Regen
Kurzform von Regeneration: Erwärmen einer Kryopumpe, um das aufgefangene Gas auszutreiben, und anschließendes Abkühlen.
Crossover
Punkt während des Evakuierens, an dem das Pumpen von der Vorpumpe auf die Hochvakuumpumpe umgeschaltet wird.
Cold trap
Gekühlte Oberfläche in einer Pumpleitung, die Wasser- und Öldampf ausfriert, bevor er die Kammer oder die Pumpe erreicht.
Getter
Reaktives Material, das Gas aus einem Vakuum entfernt, indem es dieses chemisch an eine frische Metalloberfläche bindet.