Eine Pumpe (Diffusionspumpe), in der eine Heizung Öl mit niedrigem Dampfdruck zum Sieden bringt und der Dampf aus einer gestapelten Düsenbaugruppe als schnelle, nach unten gerichtete Strahlen herausschießt. Gasmoleküle, die in die Strahlen diffundieren, werden zur Vorvakuumleitung gedrückt, wo eine mechanische Pumpe sie absaugt, während das Öl an wassergekühlten Wänden kondensiert und zurück zum Sieder fließt. Diffusion pumps sind günstig, robust und schnell für große Öfen und Beschichtungsanlagen, erfordern aber ein Baffle oder eine Kühlfalle gegen Rückströmen und dürfen niemals ohne Vorvakuum betrieben werden.
Diff pump takes forty minutes to come up to temperature, so switch the heater on before you load the chamber.
In klarem Deutsch Die diff pump braucht vierzig Minuten, um auf Temperatur zu kommen, schalte also die Heizung ein, bevor du die Kammer belädst.
Lassen Sie niemals Luft in eine heiße diffusion pump: Heißes Öl, das Luft ausgesetzt ist, oxidiert zu Teer, lassen Sie also den Sieder abkühlen, bevor die Pumpe Atmosphäre sieht.
Auch bekannt als
- diff pump
- DP
- oil diffusion pump
Verwandte Begriffe
Backstream
Das Zurückströmen von Pumpenöl oder -dampf in die falsche Richtung, von der Pumpe zurück zur Kammer.
Cold trap
Gekühlte Oberfläche in einer Pumpleitung, die Wasser- und Öldampf ausfriert, bevor er die Kammer oder die Pumpe erreicht.
Backing pump
Pumpe, die den Auslass einer Turbo-, Diffusions- oder Wälzkolbenpumpe unter ihrem maximal zulässigen Druck hält.
Crossover
Punkt während des Evakuierens, an dem das Pumpen von der Vorpumpe auf die Hochvakuumpumpe umgeschaltet wird.
Oil creep
Langsames Ausbreiten eines dünnen Ölfilms entlang von Metalloberflächen, wodurch Pumpenflüssigkeit weit von ihrem Ursprung weggetragen wird.