Jede Vor- oder Evakuierungspumpe, die Gas ohne Dichtflüssigkeit im Schöpfraum komprimiert: Scroll-, Schrauben-, Klauen-, mehrstufige Wälzkolben- und Membranpumpen. Halbleiter-Fabs setzen an fast jeder Prozessanlage mehrstufige Schrauben- oder Wälzkolben-Klauen-Trockenpumpen ein, da sie mit korrosiven und partikelbeladenen Abgasen zurechtkommen und keine Kohlenwasserstoffe in die Leitung einbringen. Sie sind teurer als ölgedichtete Pumpen und benötigen oft eine Stickstoffspülung und Kühlwasser.
Dry pump on etch 4 tripped on high current again, probably process byproducts caking in the stages.
In klarem Deutsch Die Dry pump an Ätze 4 hat wieder wegen Überstrom abgeschaltet, wahrscheinlich setzen sich Prozessnebenprodukte in den Stufen ab.
Auch bekannt als
- dry vacuum pump
- dry roughing pump
Nicht zu verwechseln mit
- Rotary vane pump: Eine Drehschieberpumpe benötigt Öl zur Abdichtung ihrer Spalte und gilt als nasse Pumpe, während eine trockene Pumpe (dry pump) keine Flüssigkeit im Gaspfad hat.
Verwandte Begriffe
Scroll pump
Trockene Pumpe, die Gas zwischen einer festen und einer kreisenden Spirale komprimiert, ohne Öl im Gaspfad.
Rotary vane pump
Ölgedichtete Verdrängerpumpe, bei der rotierende Schieber das Gas in einem exzentrischen Rotor fördern.
Roughing pump
Pumpe, die eine Kammer von Atmosphärendruck auf den Druck bringt, bei dem die Hochvakuumpumpe übernehmen kann.
Backstream
Das Zurückströmen von Pumpenöl oder -dampf in die falsche Richtung, von der Pumpe zurück zur Kammer.