Eine trockene Verdrängerpumpe, die aus zwei ineinandergreifenden Spiralen besteht: Eine ist feststehend, die andere kreist exzentrisch, sodass sichelförmige Gastaschen auf ihrem Weg von der Außenseite zum Auslass in der Mitte schrumpfen. Da im Schöpfraum kein Öl vorhanden ist, erreicht sie etwa 10⁻² mbar, ohne die Kammer zu kontaminieren, was sie zur Standard-Vorpumpe für saubere Turbosysteme in Laboren macht. Ihre Schwachstelle ist die polymere Dichtleiste (tip seal), die verschleißt und Staub abgibt.
Scroll's ultimate crept up to 0.3 mbar, I'd bet the tip seals are worn, we're nine months in.
In klarem Deutsch Der Enddruck der Scroll pump ist auf 0,3 mbar geklettert, ich wette, die Dichtleisten sind nach neun Monaten durch.
Auch bekannt als
- scroll
- dry scroll
Verwandte Begriffe
Tip seal
Kunststoffstreifen an der Kante der Spirale einer Scrollpumpe, der die Gastaschen gegen die gegenüberliegende Platte abdichtet.
Dry pump
Vakuumpumpe ohne Öl oder Flüssigkeit im Schöpfraum, eingesetzt, wo Ölnebel den Prozess kontaminieren würde.
Backing pump
Pumpe, die den Auslass einer Turbo-, Diffusions- oder Wälzkolbenpumpe unter ihrem maximal zulässigen Druck hält.
Rotary vane pump
Ölgedichtete Verdrängerpumpe, bei der rotierende Schieber das Gas in einem exzentrischen Rotor fördern.