Eine Pumpe, die über die Vorvakuumleitung an den Auslass einer Hochvakuum- oder Boosterpumpe angeschlossen ist und das von diesen Pumpen komprimierte Gas abfördert. Turbo-, Diffusions- und Wälzkolbenpumpen können nicht gegen Atmosphäre ausstoßen, daher muss die Vorpumpe (Backing pump) das Vorvakuum unter deren kritischem Vorvakuumsdruck halten, der bei einer Turbo je nach Molekulardragstufe zwischen etwa 0,1 mbar und über 10 mbar liegt. Fällt die Vorpumpe aus, brechen die Dampfstrahlen einer Diffusionspumpe zusammen und treiben Öl in Richtung Kammer, und eine Turbo bremst unter der Last ab und schaltet ab.
Foreline's at 2 mbar, backing pump's on its way out, swap it before the turbo starts tripping.
In klarem Deutsch Das Vorvakuum liegt bei 2 mbar, die Backing pump macht bald schlapp, tauscht sie aus, bevor die Turbo abschaltet.
Halten Sie das Vorvakuum mindestens eine Dekade unter dem kritischen Vorvakuumsdruck der Turbo, damit ein Prozessgasschub den Grenzwert nicht überschreitet.
Auch bekannt als
- forepump
- fore pump
Verwandte Begriffe
Foreline
Rohrleitung, die den Auslass einer Hochvakuum- oder Wälzkolbenpumpe mit ihrer Vorpumpe verbindet.
Roughing pump
Pumpe, die eine Kammer von Atmosphärendruck auf den Druck bringt, bei dem die Hochvakuumpumpe übernehmen kann.
Turbomolecular pump
Hochvakuumpumpe, deren Rotorschaufeln mit zehntausenden U/min rotieren und Moleküle in Richtung Auslass stoßen.
Diffusion pump
Hochvakuumpumpe ohne bewegliche Teile, die Gas mit nach unten gerichteten Treibmittelstrahlen aus heißem Öldampf zum Auslass befördert.
Throughput
Wie viel Gas pro Sekunde an einem Punkt vorbeiströmt, berechnet als Druck mal Volumen, in Einheiten wie mbar·L/s.