Backing pump

sustantivoTérmino técnicoVacío

Bomba que mantiene el escape de una bomba turbo, de difusión o Roots por debajo de su presión máxima permitida.

Una bomba conectada a la salida de una bomba de alto vacío o booster a través de la línea de vacío previo, que extrae el gas que estas bombas comprimen. Las bombas turbo, de difusión y Roots no pueden descargar a la atmósfera, por lo que la bomba de respaldo debe mantener la línea de vacío previo por debajo de su presión de respaldo crítica, desde unos 0.1 mbar hasta más de 10 mbar para una bomba turbo, según su etapa de arrastre. Si la bomba de respaldo se detiene, los chorros de vapor de una bomba de difusión colapsan y envían aceite hacia la cámara, y una bomba turbo se ralentiza bajo la carga y se detiene por seguridad.

Escuchado en el trabajo

Foreline's at 2 mbar, backing pump's on its way out, swap it before the turbo starts tripping.

En español sencillo La línea de vacío previo está a 2 mbar, la backing pump está a punto de fallar, cámbiela antes de que la bomba turbo empiece a detenerse.

Consejo de experto

Mantenga la línea de vacío previo al menos una década por debajo de la presión de respaldo crítica de la bomba turbo para que un aumento repentino de gas de proceso no supere el límite.

También se escucha como

  • forepump
  • fore pump