Flujo de gas expresado como presión por caudal volumétrico, Q = p·S, en mbar·L/s, Torr·L/s o Pa·m³/s. Dado que mide la cantidad de gas en lugar del volumen, el throughput se conserva a lo largo de una línea de bombeo en estado estacionario: el gas que sale de la cámara es el mismo que llega a la bomba de respaldo. Los ingenieros lo utilizan para dimensionar las bombas de respaldo, comprobar si una bomba turbo puede absorber el flujo de un proceso y expresar las fugas y la desgasificación en las mismas unidades.
Process flow is 200 sccm, that's about 3.4 mbar-litres a second of throughput the turbo has to swallow.
En español sencillo El flujo del proceso es de 200 sccm, lo que equivale a unos 3.4 mbar-litros por segundo de throughput que la bomba turbo tiene que absorber.
Para dimensionar una bomba de respaldo, divida el throughput máximo de la bomba de alto vacío por la presión de línea de vacío previo más alta que esta tolere; esa será la velocidad de respaldo mínima.
También se escucha como
- Q
- gas throughput
- pV flow
Términos relacionados
Pumping speed
Volumen de gas que una bomba extrae de su entrada por unidad de tiempo, medido a la presión de entrada.
Conductance
Facilidad con la que un tubo, orificio o válvula deja pasar el gas, expresada en litros por segundo.
sccm
Centímetros cúbicos estándar por minuto: unidad de flujo másico para gases de proceso, referida a 0 °C y 1 atm.
Backing pump
Bomba que mantiene el escape de una bomba turbo, de difusión o Roots por debajo de su presión máxima permitida.