Centímetros cúbicos estándar por minuto, una unidad de flujo de gas que refiere el volumen a condiciones estándar, normalmente 0 °C y 1013 mbar, por lo que cuenta moléculas en lugar de volumen local. Los controladores de flujo másico en las herramientas de proceso se clasifican en sccm o slm (litros estándar por minuto). Un sccm equivale aproximadamente a 0.0169 mbar·L/s, la conversión que utilizan los ingenieros de vacío para comprobar que el flujo de un proceso no sobrecargará una bomba turbo ni elevará demasiado la presión de la línea de vacío previo.
Bumped the argon from 30 to 45 sccm and the chamber went from 3 to 4.5 millitorr with the throttle wide open.
En español sencillo Subí el argón de 30 a 45 sccm y la cámara pasó de 3 a 4.5 militorr con el regulador abierto por completo.
También se escucha como
- standard cubic centimetres per minute
- SCCM
Términos relacionados
Throughput
Cantidad de gas que fluye por un punto cada segundo, calculada como presión por volumen, en unidades como mbar·L/s.
Gas load
Flujo total de gas que un sistema de bombeo debe extraer, sumando el gas de proceso, las fugas, la desgasificación y la permeación.
Turbomolecular pump
Bomba de alto vacío cuyos álabes del rotor giran a decenas de miles de rpm y golpean las moléculas hacia el escape.
Bleed
Admitir un flujo pequeño y controlado de gas en un sistema de vacío a través de una válvula de aguja o de fuga.