Centimètres cubes standard par minute, une unité de débit de gaz qui rapporte le volume à des conditions standard, généralement 0 °C et 1013 mbar, de sorte qu'elle compte les molécules plutôt que le volume local. Les régulateurs de débit massique sur les outils de procédé sont étalonnés en sccm ou en slm (litres standard par minute). Un sccm équivaut à environ 0,0169 mbar·L/s, la conversion que les ingénieurs du vide utilisent pour vérifier qu'un débit de procédé ne va pas surcharger une turbo ou faire monter excessivement la pression de refoulement.
Bumped the argon from 30 to 45 sccm and the chamber went from 3 to 4.5 millitorr with the throttle wide open.
En français simple J'ai augmenté l'argon de 30 à 45 sccm et la chambre est passée de 3 à 4,5 millitorrs avec la vanne de régulation grande ouverte.
Aussi entendu sous
- standard cubic centimetres per minute
- SCCM
Termes associés
Throughput
Quantité de gaz qui passe par un point chaque seconde, calculée comme le produit de la pression par le volume, dans des unités telles que le mbar·L/s.
Gas load
Débit de gaz total qu'un système de pompage doit évacuer, combinant le gaz de procédé, les fuites, le dégazage et la perméation.
Turbomolecular pump
Pompe à vide poussé dont les aubes du rotor tournent à des dizaines de milliers de tr/min et projettent les molécules vers le refoulement.
Bleed
Admettre un faible débit contrôlé de gaz dans un système sous vide à travers une vanne à pointeau ou une vanne de fuite.