La somme de toutes les sources de gaz entrant dans un système de vide, exprimée sous forme de débit (throughput) en mbar·L/s ou Torr·L/s : débit de procédé, fuites réelles, fuites virtuelles, dégazage, perméation et reflux. La pression en régime permanent est égale au gas load divisé par la vitesse de pompage effective, de sorte qu'il est souvent moins coûteux de réduire la charge que d'acheter une pompe plus grande. Dans une chambre à vide poussé non étuvée, l'eau qui se détache des parois est généralement le terme le plus important.
Gas load from that new polymer fixture is killing us, base went from 1E-7 to 5E-6 the day we installed it.
En français simple Le gas load provenant de ce nouveau montage en polymère nous tue, la pression de base est passée de 1E-7 à 5E-6 le jour où nous l'avons installé.
Aussi entendu sous
- load
Termes associés
Throughput
Quantité de gaz qui passe par un point chaque seconde, calculée comme le produit de la pression par le volume, dans des unités telles que le mbar·L/s.
Outgassing
Libération lente de gaz par les surfaces et le volume des matériaux à l'intérieur d'un système sous vide.
Permeation
Passage de gaz à travers les parois solides ou les joints d'un système sous vide par dissolution puis diffusion.
Effective pumping speed
La vitesse de pompage réellement obtenue au niveau de la chambre après les pertes dans les tuyaux et vannes de raccordement.
Virtual leak
Gaz piégé dans une poche cachée à l'intérieur du vide qui s'échappe lentement et se comporte comme une petite fuite réelle.