Die Summe aller Gasquellen, die in ein Vakuumsystem gelangen, ausgedrückt als Durchsatz in mbar·L/s oder Torr·L/s: Prozessgasstrom, reale Lecks, virtuelle Lecks, Ausgasung, Permeation und Rückströmung. Der Druck im stationären Zustand ist gleich der Gaslast (Gas load) geteilt durch das effektive Saugvermögen, sodass eine Reduzierung der Last oft günstiger ist als der Kauf einer größeren Pumpe. In einer ungeheizten Hochvakuumkammer ist von den Wänden desorbierendes Wasser meist der größte Anteil.
Gas load from that new polymer fixture is killing us, base went from 1E-7 to 5E-6 the day we installed it.
In klarem Deutsch Die Gas load von dieser neuen Polymerhalterung bringt uns um, der Basisdruck ging am Tag des Einbaus von 1E-7 auf 5E-6 hoch.
Auch bekannt als
- load
Verwandte Begriffe
Throughput
Wie viel Gas pro Sekunde an einem Punkt vorbeiströmt, berechnet als Druck mal Volumen, in Einheiten wie mbar·L/s.
Outgassing
Langsame Freisetzung von Gas aus den Oberflächen und dem Inneren von Materialien in einem Vakuumsystem.
Permeation
Gas, das durch die festen Wände oder Dichtungen eines Vakuumsystems dringt, indem es sich darin löst und hindurchdiffundiert.
Effective pumping speed
Das tatsächlich an der Kammer ankommende Saugvermögen nach Verlusten in den Verbindungsrohren und Ventilen.
Virtual leak
In einer verborgenen Tasche im Vakuum eingeschlossenes Gas, das langsam entweicht und sich wie ein kleines echtes Leck verhält.