Das Niederdruckregime, bei dem die mittlere freie Weglänge die Kanalgröße überschreitet, Knudsen-Zahl über etwa 0,5. Jedes Molekül bewegt sich unabhängig in geraden Linien zwischen Wandstößen und verlässt jede Wand in einer zufälligen Richtung, sodass kein Sog entsteht und eine Pumpe nur das entfernt, was zufällig in ihren Einlass gelangt. Der Leitwert hängt nicht mehr vom Druck ab: Eine Öffnung lässt bei Luft von 20 °C etwa 11,6 L/s pro cm² Fläche durch, und lange, enge oder gebogene Leitungen werden zu massiven Engpässen.
We're deep in molecular flow, so that 90-degree elbow in front of the turbo is costing us half the speed.
In klarem Deutsch Wir sind tief im Bereich der Molecular flow, dieser 90-Grad-Bogen vor der Turbomolekularpumpe kostet uns also die Hälfte des Saugvermögens.
In der molekularen Strömung kann eine Pumpe kein Gas ansaugen; das Saugvermögen, das an der Kammer ankommt, hängt daher hauptsächlich davon ab, wie breit und kurz der Weg zur Pumpe ist.
Auch bekannt als
- free molecular flow
Verwandte Begriffe
Knudsen number
Verhältnis der mittleren freien Weglänge zu einer charakteristischen Größe wie dem Rohrdurchmesser, zur Bestimmung des Strömungsregimes.
Conductance
Wie leicht ein Rohr, eine Blende oder ein Ventil Gas durchlässt, ausgedrückt in Litern pro Sekunde.
Effective pumping speed
Das tatsächlich an der Kammer ankommende Saugvermögen nach Verlusten in den Verbindungsrohren und Ventilen.
High vacuum
Der Bereich von etwa 10⁻³ bis 10⁻⁷ mbar, in dem Moleküle meist an die Wände stoßen und nicht untereinander.