Die mittlere Distanz, die ein Molekül zwischen Kollisionen mit anderen Molekülen zurücklegt, umgekehrt proportional zum Druck. Für Luft bei 20 °C ist das Produkt aus mittlerer freier Weglänge und Druck etwa 6,65×10⁻³ cm·mbar, was etwa 66 nm bei Atmosphärendruck, 66 µm bei 1 mbar, 6,6 cm bei 10⁻³ mbar und 660 m bei 10⁻⁷ mbar ergibt. Der Vergleich mit der Größe der Rohre und der Kammer zeigt das Strömungsregime und wie sich Pumpen und Messgeräte verhalten werden.
At 1E-5 mbar the mean free path is metres, so the sputtered atoms fly straight to the substrate without scattering.
In klarem Deutsch Bei 1E-5 mbar beträgt die Mean free path mehrere Meter, sodass die gesputterten Atome ohne Streuung direkt zum Substrat fliegen.
Praktischer Richtwert für Luft: etwa 5 cm bei 1 Millitorr. Teilen Sie einfach 5 cm durch den Druck in Millitorr, um den Wert zu erhalten.
Auch bekannt als
- MFP
- lambda
Verwandte Begriffe
Knudsen number
Verhältnis der mittleren freien Weglänge zu einer charakteristischen Größe wie dem Rohrdurchmesser, zur Bestimmung des Strömungsregimes.
Molecular flow
Strömungsregime, bei dem Moleküle fast ohne gegenseitige Zusammenstöße zwischen den Wänden hin- und herfliegen.
Viscous flow
Strömungsregime, bei dem Moleküle hauptsächlich untereinander zusammenstoßen, sodass sich das Gas wie ein kontinuierliches Fluid bewegt.