Standard-Kubikzentimeter pro Minute, eine Gasflusseinheit, die das Volumen auf Standardbedingungen bezieht, meist 0 °C und 1013 mbar, sodass sie Moleküle statt des lokalen Volumens zählt. Massendurchflussregler an Prozessanlagen sind in sccm oder slm (Standard-Liter pro Minute) skaliert. Ein sccm entspricht etwa 0,0169 mbar·L/s, dem Umrechnungsfaktor, den Vakuumingenieure verwenden, um sicherzustellen, dass ein Prozessgasstrom eine Turbo nicht überlastet oder den Vorvakuumsdruck zu hoch treibt.
Bumped the argon from 30 to 45 sccm and the chamber went from 3 to 4.5 millitorr with the throttle wide open.
In klarem Deutsch Wir haben das Argon von 30 auf 45 sccm hochgedreht, und die Kammer ging bei voll geöffnetem Drosselventil von 3 auf 4,5 Millitorr.
Auch bekannt als
- standard cubic centimetres per minute
- SCCM
Verwandte Begriffe
Throughput
Wie viel Gas pro Sekunde an einem Punkt vorbeiströmt, berechnet als Druck mal Volumen, in Einheiten wie mbar·L/s.
Gas load
Gesamter Gasstrom, den ein Pumpsystem bewältigen muss, summiert aus Prozessgas, Lecks, Ausgasung und Permeation.
Turbomolecular pump
Hochvakuumpumpe, deren Rotorschaufeln mit zehntausenden U/min rotieren und Moleküle in Richtung Auslass stoßen.
Bleed
Einen kleinen, kontrollierten Gasstrom durch ein Nadel- oder Dosierventil in ein Vakuumsystem einlassen.