Das am Kammeranschluss anstehende Saugvermögen, sobald der Leitwert aller Bauteile zwischen Kammer und Pumpe berücksichtigt wird: 1/S_eff = 1/S + 1/C. Es ist immer niedriger als das Nennsaugvermögen, und bei molekularer Strömung kann es drastisch niedriger sein, da eine lange, enge Leitung den Großteil der Leistung einer großen Pumpe zunichte machen kann. Konstrukteure flanschen Hochvakuumpumpen direkt über das kürzeste und weiteste verfügbare Ventil an die Kammer, um S_eff nahe an S zu halten.
Effective pumping speed at the wafer is maybe 40 percent of nameplate with that gate valve and baffle in the way.
In klarem Deutsch Die Effective pumping speed am Wafer beträgt mit diesem Schieberventil und dem Prallblech im Weg vielleicht 40 Prozent des Nennwerts.
Auch bekannt als
- net pumping speed
- S_eff
Verwandte Begriffe
Pumping speed
Gasvolumen, das eine Pumpe pro Zeiteinheit aus ihrem Einlass entfernt, gemessen beim Einlassdruck.
Conductance
Wie leicht ein Rohr, eine Blende oder ein Ventil Gas durchlässt, ausgedrückt in Litern pro Sekunde.
Molecular flow
Strömungsregime, bei dem Moleküle fast ohne gegenseitige Zusammenstöße zwischen den Wänden hin- und herfliegen.
Gate valve
Ventil mit vollem Durchgang und einer Schieberplatte, das eine Hochvakuumpumpe oder eine Schleuse von der Kammer trennt.