Ein Bauteil, das etwas durch die Kammerwand leitet: elektrische Kontakte in einer Keramik-Metall- oder Glas-Metall-Dichtung, Kühlwasserrohre, Thermoelementdrähte, Glasfasern oder Dreh- und Linearbewegungen über Faltenbälge oder Magnetkupplungen. UHV-Feedthroughs sind in CF-Flansche eingeschweißt oder eingelötet und müssen das Bake-out überstehen. Risse in Keramikisolatoren und Haarrisse in Lötstellen machen Feedthroughs nach thermischen Zyklen zu einer häufigen Leckquelle.
Leak's at the thermocouple feedthrough, the ceramic cracked when somebody cranked on the connector.
In klarem Deutsch Das Leck liegt am Thermoelement-Feedthrough, die Keramik ist gerissen, als jemand am Stecker gehebelt hat.
Auch bekannt als
- vacuum feedthrough
- feedthru
- Feed-through
Verwandte Begriffe
CF flange
Ganzmetallflansch, der abdichtet, indem sich Schneidkanten in eine weiche Kupferdichtung schneiden, die Standardverbindung für UHV.
Bellows
Dünnes, gefaltetes Metallrohr, das eine Vakuumverbindung flexibel oder beweglich macht und gleichzeitig leckdicht hält.
Chase a leak
Ein Leck unbekannter Position Verbindung für Verbindung zu suchen, oft über Stunden, bis die Quelle genau lokalisiert ist.