Die Leitung zwischen dem Auslass einer Turbopumpe, Diffusionspumpe oder Roots-Pumpe und der Vorpumpe, zusammen mit allen Ventilen, Fallen oder Messgeräten auf dieser Leitung. Ihr Druck, der von einem Pirani- oder Konvektionsmessgerät abgelesen wird, ist das Gesundheitssignal für das gesamte System, da er unter dem kritischen Vorvakuumdruck der Hochvakuumpumpe bleiben muss. Vorvakuumfallen, die mit Molekularsieb gefüllt sind oder kalt gehalten werden, verhindern, dass Öl aus der Vorpumpe in Richtung der Hochvakuumseite kriecht.
Foreline's sitting at 0.5 torr with no process gas, something's leaking between the turbo and the dry pump.
In klarem Deutsch Die Foreline liegt bei 0,5 Torr ohne Prozessgas, irgendwo zwischen der Turbopumpe und der Trockenpumpe gibt es ein Leck.
Auch bekannt als
- fore
- backing line
Verwandte Begriffe
Backing pump
Pumpe, die den Auslass einer Turbo-, Diffusions- oder Wälzkolbenpumpe unter ihrem maximal zulässigen Druck hält.
Pirani gauge
Wärmeleitungs-Vakuummeter, das den Druck darüber misst, wie schnell Gas Wärme von einem heißen Draht ableitet.
Backstream
Das Zurückströmen von Pumpenöl oder -dampf in die falsche Richtung, von der Pumpe zurück zur Kammer.
At speed
Bezeichnung für eine Turbopumpe, die das Hochlaufen beendet und ihre normale Rotationsdrehzahl erreicht hat.