La conduite située entre la sortie d'une pompe turbomoléculaire, à diffusion ou Roots et la pompe primaire, ainsi que toute vanne, piège ou jauge installée dessus. Sa pression, lue par une jauge Pirani ou à convection, est l'indicateur de santé de tout le groupe de pompage car elle doit rester inférieure à la pression de refoulement critique de la pompe à vide poussé. Les pièges de foreline, remplis de tamis moléculaire ou maintenus froids, empêchent l'huile de la pompe primaire de remonter vers le côté vide poussé.
Foreline's sitting at 0.5 torr with no process gas, something's leaking between the turbo and the dry pump.
En français simple La foreline est à 0,5 torr sans gaz de procédé, il y a une fuite quelque part entre la turbo et la pompe sèche.
Aussi entendu sous
- fore
- backing line
Termes associés
Backing pump
Pompe qui maintient le refoulement d'une pompe turbo, à diffusion ou Roots sous sa pression maximale admissible.
Pirani gauge
Jauge à conductivité thermique qui mesure la pression à partir de la rapidité avec laquelle le gaz évacue la chaleur d'un fil chaud.
Backstream
Pour l'huile ou la vapeur de pompe, s'écouler dans le mauvais sens, de la pompe vers la chambre.
At speed
Se dit d'une pompe turbomoléculaire qui a terminé sa phase de démarrage et a atteint sa vitesse de rotation normale.