Ein Vakuummeter mit einem beheizten Filament, das einen Zweig einer Brückenschaltung bildet; die Leistung, die erforderlich ist, um den Draht auf konstanter Temperatur zu halten, hängt davon ab, wie viel Wärme das Gas ableitet, was wiederum vom Druck im Feinvakuumbereich abhängt. Sinnvolle Messwerte reichen von etwa 10⁻³ mbar bis zu einigen zehn mbar, bei konvektionsverstärkten Versionen bis zum Atmosphärendruck. Der Messwert hängt von der Gasart ab, da jedes Gas Wärme anders leitet, weshalb das Messgerät für Stickstoff oder Luft kalibriert ist.
Pirani says 2E-2 on the foreline, that's fine for the turbo, leave it alone.
In klarem Deutsch Das Pirani gauge zeigt 2E-2 in der Vorvakuumleitung, das ist in Ordnung für die Turbopumpe, lass es so.
Das Thermoelement-Vakuummeter (TC-Gauge), das an US-amerikanischen Öfen und Beschichtungsanlagen üblich ist, arbeitet nach demselben Prinzip mit einer einfacheren Anzeige und teilt daher die gleichen blinden Flecken bei Helium und Argon.
Auch bekannt als
- Pirani
- thermal conductivity gauge
Verwandte Begriffe
Convection gauge
Vakuummeter vom Pirani-Typ, das die Gaskonvektion um den beheizten Draht nutzt, um von etwa 10⁻³ mbar bis Atmosphärendruck zu messen.
Gas correction factor
Multiplikator, der einen für Stickstoff kalibrierten Messwert in den tatsächlichen Druck eines anderen Gases umrechnet.
Capacitance manometer
Membran-Vakuummeter, das den echten Druck unabhängig von der Gasart über die Kapazität einer sich biegenden Membran misst.
Medium vacuum
Der Bereich zwischen etwa 1 und 10⁻³ mbar, in dem die Gasströmung von flüssigkeitsähnlich auf Molekül-für-Molekül wechselt.