Ein Vakuummeter (Kapazitätsmembran-Vakuummeter) mit einer dünnen Metall- oder Keramikmembran, die sich unter der Druckdifferenz zwischen der Prozessseite und einer versiegelten Hochvakuum-Referenz durchbiegt, was ihre Kapazität zu einer festen Elektrode ändert. Da es die Kraft pro Fläche direkt misst, ist der Messwert unabhängig von der Gaszusammensetzung, weshalb Prozessanlagen es zur Druckregelung nutzen. Jeder Messkopf deckt etwa vier Dekaden unterhalb seines Endwerts ab, wie etwa 1000, 10 oder 0,1 Torr, und Präzisionsmessköpfe sind für die Stabilität beheizt und müssen regelmäßig genullt werden.
Zero the 100-millitorr cap manometer at base before the run, it's drifted three percent since last week.
In klarem Deutsch Null das 100-Millitorr-capacitance-manometer beim Basisdruck vor dem Durchlauf, es ist seit letzter Woche um drei Prozent gedriftet.
In der Halbleiterfertigung wird jedes Kapazitätsmembran-Vakuummeter nach der bekanntesten Marke Baratron genannt, und es wird nur bei einem Druck weit unter seiner Auflösung genullt, niemals bei Prozessdruck.
Auch bekannt als
- CDG
- capacitance diaphragm gauge
- cap manometer
- Baratron
Verwandte Begriffe
Pirani gauge
Wärmeleitungs-Vakuummeter, das den Druck darüber misst, wie schnell Gas Wärme von einem heißen Draht ableitet.
Gas correction factor
Multiplikator, der einen für Stickstoff kalibrierten Messwert in den tatsächlichen Druck eines anderen Gases umrechnet.
Ionization gauge
Vakuummeter, das Hoch- und Ultrahochvakuum misst, indem es Gasmoleküle ionisiert und den resultierenden Ionenstrom misst.