Jauge dotée d'une fine membrane métallique ou céramique qui se déforme sous l'effet de la différence de pression entre le côté procédé et une référence de vide poussé scellée, modifiant sa capacité par rapport à une électrode fixe. Comme elle mesure directement la force par unité de surface, la lecture ne dépend pas de la composition du gaz, c'est pourquoi les outils de procédé l'utilisent pour le contrôle de la pression. Chaque tête couvre environ quatre décades en dessous de sa pleine échelle, comme 1000, 10 ou 0.1 Torr, et les têtes de précision sont chauffées pour la stabilité et nécessitent une mise à zéro périodique.
Zero the 100-millitorr cap manometer at base before the run, it's drifted three percent since last week.
En français simple Faites le zéro du capacitance manometer de 100 millitorrs au vide limite avant le cycle, il a dérivé de trois pour cent depuis la semaine dernière.
Les techniciens de fabrication appellent tout manomètre capacitif un Baratron, du nom de la marque la plus connue, et ils ne font le zéro qu'à une pression bien inférieure à sa résolution, jamais à la pression de procédé.
Aussi entendu sous
- CDG
- capacitance diaphragm gauge
- cap manometer
- Baratron
Termes associés
Pirani gauge
Jauge à conductivité thermique qui mesure la pression à partir de la rapidité avec laquelle le gaz évacue la chaleur d'un fil chaud.
Gas correction factor
Multiplicateur qui convertit la lecture d'une jauge étalonnée pour l'azote en la pression réelle d'un autre gaz.
Ionization gauge
Jauge qui mesure le vide poussé et l'ultra-vide en ionisant les molécules de gaz et en mesurant le courant ionique résultant.