Un medidor con un diafragma delgado de metal o cerámica que se deforma bajo la diferencia de presión entre el lado del proceso y una referencia sellada de alto vacío, cambiando su capacitancia respecto a un electrodo fijo. Dado que mide la fuerza por área directamente, la lectura no depende de la composición del gas, razón por la cual los equipos de proceso lo utilizan para el control de la presión. Cada cabezal cubre aproximadamente cuatro décadas por debajo de su escala completa, como 1000, 10 o 0.1 Torr, y los cabezales de precisión están calentados para mayor estabilidad y necesitan una puesta a cero periódica.
Zero the 100-millitorr cap manometer at base before the run, it's drifted three percent since last week.
En español sencillo Ponga a cero el "capacitance manometer" de 100 militorr en la presión base antes de la tanda, se ha desviado un tres por ciento desde la semana pasada.
Los técnicos de fábrica llaman a cualquier "capacitance manometer" Baratron, por la marca más conocida, y solo lo ponen a cero a una presión muy por debajo de su resolución, nunca a la presión de proceso.
También se escucha como
- CDG
- capacitance diaphragm gauge
- cap manometer
- Baratron
Términos relacionados
Pirani gauge
Medidor de conductividad térmica que lee la presión a partir de la rapidez con la que el gas transporta el calor fuera de un hilo caliente.
Gas correction factor
Multiplicador que convierte la lectura de un medidor calibrado para nitrógeno en la presión real de otro gas.
Ionization gauge
Medidor que lee el alto y ultra alto vacío ionizando las moléculas de gas y midiendo la corriente de iones resultante.