Analyseur de gaz résiduels, généralement un spectromètre de masse quadripolaire boulonné à la chambre, qui ionise les gaz résiduels et trie les ions selon leur rapport masse/charge. Un balayage montre les pressions partielles par masse : 2 pour l'hydrogène, 18 pour l'eau, 28 pour l'azote et le monoxyde de carbone, 32 pour l'oxygène, 40 pour l'argon, 44 pour le dioxyde de carbone. Une fuite d'air montre les masses 28 et 32 dans un rapport d'environ 4 pour 1 avec de l'argon à la masse 40, tandis qu'un groupe à 41, 43, 55 et 57 indique des hydrocarbures comme de l'huile de pompe.
RGA shows 28 and 32 at four to one with argon at 40, that's air, we've got a real leak.
En français simple Le RGA montre les masses 28 et 32 dans un rapport de quatre pour un avec de l'argon à la masse 40, c'est de l'air, nous avons une vraie fuite.
Un RGA calé sur la masse 4 constitue un détecteur de fuite à l'hélium tout à fait utilisable, ce qui évite de casser le vide pour brancher le détecteur de fuites.
Aussi entendu sous
- residual gas analyzer
- quad
- mass spec
Termes associés
Partial pressure
La part de la pression totale apportée par une espèce de gaz particulière dans un mélange.
Cracking pattern
Ensemble de pics d'ions fragments qu'une molécule produit dans un spectromètre de masse, utilisé pour l'identifier lors d'un balayage RGA.
Helium leak detector
Spectromètre de masse calé sur l'hélium qui trouve et mesure les fuites en détectant l'hélium aspiré dans le système.
Chase a leak
Traquer une fuite d'emplacement inconnu joint par joint, souvent pendant des heures, jusqu'à en identifier la source.