La pression qu'un gaz dans un mélange exercerait s'il occupait seul le volume, les pressions partielles de toutes les espèces s'additionnant pour former la pression totale. Dans le domaine du vide, elle importe souvent plus que la pression totale, car un procédé peut tolérer 10⁻⁶ mbar d'argon mais pas 10⁻⁸ mbar d'eau ou d'oxygène. Les pressions partielles sont mesurées avec un analyseur de gaz résiduel, car une jauge à ionisation ne donne qu'un total pondéré selon la nature des gaz.
Total's fine at 3E-7 but the water partial pressure is half of that, give it another bake.
En français simple Le total est correct à 3E-7 mais la partial pressure de l'eau représente la moitié de cela, faites un autre étuvage.
Aussi entendu sous
- partial
Termes associés
RGA
Analyseur de gaz résiduels : un petit spectromètre de masse qui identifie les gaz restants dans une chambre à vide.
Base pressure
La pression la plus basse qu'une chambre donnée atteint après un temps de pompage défini, sans flux de gaz de procédé.
Outgassing
Libération lente de gaz par les surfaces et le volume des matériaux à l'intérieur d'un système sous vide.