La pression à laquelle un système assemblé se stabilise après un pompage défini, souvent 12 ou 24 heures, tous les gaz de procédé étant coupés. Elle reflète l'ensemble du système : pompes, conductances, fuites et dégazage de chaque surface. Les usines vérifient la pression de base avant les cycles de production ou à chaque changement d'équipe comme test de bon fonctionnement rapide, et une pression de base qui dérive est généralement le premier signe d'une fuite, d'une chambre humide ou d'une pompe fatiguée.
Base came back at 8E-7 this morning instead of the usual 2E-7, I'm leak-checking before we release the tool.
En français simple La base est revenue à 8E-7 ce matin au lieu des 2E-7 habituels, je fais un contrôle d'étanchéité avant de libérer l'équipement.
Quand quelqu'un demande quelle est la base, il veut connaître la valeur et le nombre d'heures de pompage, une pression de base sans durée de pompage ne signifie pas grand-chose.
Aussi entendu sous
- base
Ne pas confondre avec
- Ultimate pressure: L'ultimate pressure est la limite théorique d'une pompe sur un dôme d'essai propre, tandis que la base pressure est ce que votre propre chambre atteint réellement.
Termes associés
Ultimate pressure
La pression la plus basse qu'une pompe peut atteindre sur un dôme d'essai propre et étanche, telle qu'indiquée sur sa fiche technique.
Pump-down curve
Tracé de la pression de la chambre en fonction du temps pendant un pompage, utilisé comme signature d'un système sain.
Rate of rise
Test consistant à isoler une chambre pompée et à suivre la vitesse de remontée de la pression pour estimer les fuites et le dégazage.
Outgassing
Libération lente de gaz par les surfaces et le volume des matériaux à l'intérieur d'un système sous vide.