Der Druck, auf den sich ein montiertes System nach einem definierten Abpumpvorgang, oft 12 oder 24 Stunden, bei abgeschaltetem Prozessgas einstellt. Er spiegelt das gesamte System wider: Pumpen, Leitwerte, Lecks und das Ausgasen jeder Oberfläche. Halbleiterwerke überprüfen den Basisdruck vor Durchläufen oder bei jedem Schichtwechsel als schnellen Funktionstest, und ein schleichend ansteigender Basisdruck ist meist das erste Anzeichen für ein Leck, eine feuchte Kammer oder eine nachlassende Pumpe.
Base came back at 8E-7 this morning instead of the usual 2E-7, I'm leak-checking before we release the tool.
In klarem Deutsch Der Base pressure lag heute Morgen bei 8E-7 statt der üblichen 2E-7, ich mache eine Lecksuche, bevor wir die Anlage freigeben.
Wenn jemand nach dem Basisdruck fragt, möchte er den Wert und die Anzahl der Pumpstunden wissen; ein Basisdruck ohne Angabe der Pumpzeit sagt wenig aus.
Auch bekannt als
- base
Nicht zu verwechseln mit
- Ultimate pressure: Ultimate pressure ist der im Datenblatt angegebene Grenzwert einer Pumpe an einem sauberen Testdom, während der base pressure das ist, was Ihre eigene Kammer tatsächlich erreicht.
Verwandte Begriffe
Ultimate pressure
Der niedrigste Druck, den eine Pumpe an einem abgedichteten, sauberen Testdom erreichen kann, wie im Datenblatt angegeben.
Pump-down curve
Diagramm des Kammerdrucks über der Zeit während des Evakuierens, das als Fingerabdruck eines gesunden Systems dient.
Rate of rise
Prüfung, bei der eine abgepumpte Kammer isoliert und aufgezeichnet wird, wie schnell der Druck ansteigt, um Lecks und Ausgasung abzuschätzen.
Outgassing
Langsame Freisetzung von Gas aus den Oberflächen und dem Inneren von Materialien in einem Vakuumsystem.