Der Grenzdruck, dem sich eine Pumpe nähert, wenn ihr Einlass blindgeflanscht oder nach langer Pumpzeit an einen kleinen, sauberen Testdom angeschlossen ist. Datenblätter geben ihn als Gesamt- oder Partialdruck an, mit oder ohne Gasballast, beispielsweise etwa 2×10⁻³ mbar für eine zweistufige Drehschieberpumpe. Eine reale Kammer erreicht nie den Enddruck ihrer Pumpe, da Ausgasung, Lecks und Leitwertverluste die Last erhöhen.
Datasheet ultimate is 1E-10, but on our chamber with that long elbow we'll be happy with 1E-8.
In klarem Deutsch Der Ultimate pressure laut Datenblatt liegt bei 1E-10, aber an unserer Kammer mit diesem langen Rohrbogen sind wir mit 1E-8 schon zufrieden.
Auch bekannt als
- ultimate
- ultimate vacuum
Verwandte Begriffe
Base pressure
Der niedrigste Druck, den eine bestimmte Kammer nach einer festgelegten Pumpzeit ohne Prozessgasfluss erreicht.
Compression ratio
Verhältnis des Auslassdrucks einer Pumpe zu ihrem Einlassdruck für ein bestimmtes Gas, gemessen bei Netto-Null-Durchfluss.
Blank
Massiver Flansch ohne Bohrung, der zum Abdichten eines ungenutzten Anschlusses oder zum Testen einer einzelnen Pumpe dient.