Der Druck, den ein einzelnes Gas in einem Gemisch ausüben würde, wenn es das Volumen allein ausfüllen würde; die Partialdrücke aller Spezies addieren sich zum Gesamtdruck. In der Vakuumtechnik ist er oft wichtiger als der Gesamtdruck, da ein Prozess beispielsweise 10⁻⁶ mbar Argon vertragen kann, aber keine 10⁻⁸ mbar Wasser oder Sauerstoff. Partialdrücke werden mit einem Restgasanalysator gemessen, da ein Ionisationsmessgerät nur einen gasgewichteten Gesamtdruck liefert.
Total's fine at 3E-7 but the water partial pressure is half of that, give it another bake.
In klarem Deutsch Der Gesamtdruck ist mit 3E-7 in Ordnung, aber der Wasser-Partial pressure macht die Hälfte davon aus, heizen Sie noch einmal aus.
Auch bekannt als
- partial
Verwandte Begriffe
RGA
Residual gas analyzer (Restgasanalysator): ein kleines Massenspektrometer, das bestimmt, welche Gase in einer Vakuumkammer verbleiben.
Base pressure
Der niedrigste Druck, den eine bestimmte Kammer nach einer festgelegten Pumpzeit ohne Prozessgasfluss erreicht.
Outgassing
Langsame Freisetzung von Gas aus den Oberflächen und dem Inneren von Materialien in einem Vakuumsystem.