Der erste Bereich unterhalb des Atmosphärendrucks, meist definiert von 1000 bis 1 mbar (etwa 750 bis 0,75 Torr). Moleküle stoßen weitaus häufiger untereinander zusammen als mit den Wänden, sodass sich das Gas in einer viskosen Strömung bewegt und Pumpen sich wie gewöhnliche Kompressoren verhalten. Drehschieber-, Scroll-, Trockenschrauben- und Roots-Pumpen arbeiten hier, und die meisten industriellen Anwendungen wie Vakuumverpackung, Entgasung von Flüssigkeiten und Vakuumheben verlassen diesen Bereich nie.
Load lock only needs rough vacuum, the scroll gets it down to a few torr in under a minute.
In klarem Deutsch Die Schleuse braucht nur Rough vacuum, die Scrollpumpe bringt sie in weniger als einer Minute auf ein paar Torr.
Auch bekannt als
- low vacuum
- coarse vacuum
Nicht zu verwechseln mit
- Rough out: Rough vacuum ist ein Druckbereich, während roughing out der Vorgang des Abpumpens einer Kammer durch diesen Bereich bis zum Umschaltpunkt ist.
Verwandte Begriffe
Medium vacuum
Der Bereich zwischen etwa 1 und 10⁻³ mbar, in dem die Gasströmung von flüssigkeitsähnlich auf Molekül-für-Molekül wechselt.
Viscous flow
Strömungsregime, bei dem Moleküle hauptsächlich untereinander zusammenstoßen, sodass sich das Gas wie ein kontinuierliches Fluid bewegt.
Roughing pump
Pumpe, die eine Kammer von Atmosphärendruck auf den Druck bringt, bei dem die Hochvakuumpumpe übernehmen kann.
Rough out
Das Evakuieren einer belüfteten Kammer von Atmosphärendruck bis zum Crossover mit der Vorpumpe, bevor sich das Hochvakuumventil öffnet.