Werkstattjargon für die erste Stufe eines Pump-down: das Öffnen des Vorvakuumventils, sodass die mechanische oder trockene Pumpe die Kammer von Atmosphärendruck auf den Crossover-Druck zieht. Bei manuellen Systemen ist dies eine bewusste Ventilsequenz (Hochvakuumventil geschlossen, Vorvakuumleitung geschlossen, dann Vorvakuumventil geöffnet). Eine falsche Reihenfolge kann eine Kammer voller Luft in eine heiße Diffusionspumpe oder eine rotierende Turbopumpe leiten.
Rough it out to 100 millitorr, close the roughing valve, open the foreline, then crack the gate.
In klarem Deutsch Führen Sie den Rough out bis auf 100 Millitorr durch, schließen Sie das Vorvakuumventil, öffnen Sie die Vorvakuumleitung und öffnen Sie dann vorsichtig den Schieber.
Auch bekannt als
- rough down
- rough
- roughing
Verwandte Begriffe
Roughing pump
Pumpe, die eine Kammer von Atmosphärendruck auf den Druck bringt, bei dem die Hochvakuumpumpe übernehmen kann.
Crossover
Punkt während des Evakuierens, an dem das Pumpen von der Vorpumpe auf die Hochvakuumpumpe umgeschaltet wird.
Soft pump
Langsames, gedrosseltes Evakuieren aus dem Atmosphärendruck, um das Aufwirbeln von Partikeln und das Kondensieren von Feuchtigkeit zu verhindern.
Pump down
Das Evakuieren einer Kammer von Atmosphärendruck auf ihren Arbeitsdruck über Vorvakuum, Crossover und Hochvakuum.