Eine Kammer von Atmosphärendruck auf Betriebsdruck zu bringen. Als Substantiv bezeichnet ein pump-down den gesamten Ablauf vom Evakuieren des Vorvakuums bis zum Crossover, dem Öffnen des Hochvakuumventils und dem Pumpen auf den Basis- oder Prozessdruck. Im Vorvakuumbereich folgt die Zeit der Formel t = (V/S)·ln(p0/p), bestimmt durch Volumen und Saugvermögen, während im Hochvakuum die Ausgasung die Oberhand gewinnt, sodass eine saubere, trockene Kammer in Minuten abgepumpt ist, eine feuchte dagegen Stunden benötigt.
Pumped down at seven and we're at 5E-6 already, the door seal must have been the problem.
In klarem Deutsch Wir haben um sieben Uhr den Pump down gestartet und sind schon bei 5E-6, die Türdichtung muss das Problem gewesen sein.
Protokollieren Sie bei jedem Zyklus die Zeit bis zum Crossover und bis zu einem Referenzdruck. Eine langsame Aufwärtsdrift zeigt eine feuchte Kammer oder eine nachlassende Pumpe an, noch bevor der Basisdruck dies tut.
Auch bekannt als
- pump-down
- pumpdown
- evacuate
Verwandte Begriffe
Rough out
Das Evakuieren einer belüfteten Kammer von Atmosphärendruck bis zum Crossover mit der Vorpumpe, bevor sich das Hochvakuumventil öffnet.
Crossover
Punkt während des Evakuierens, an dem das Pumpen von der Vorpumpe auf die Hochvakuumpumpe umgeschaltet wird.
Pump-down curve
Diagramm des Kammerdrucks über der Zeit während des Evakuierens, das als Fingerabdruck eines gesunden Systems dient.
Vent
Das Einlassen von Gas, meist trockenem Stickstoff, in eine evakuierte Kammer, um sie wieder auf Atmosphärendruck zu bringen.
Base pressure
Der niedrigste Druck, den eine bestimmte Kammer nach einer festgelegten Pumpzeit ohne Prozessgasfluss erreicht.