Slang für eine kurze Druckspitze, die kommt und geht: Gas, das aus einer eingeschlossenen Tasche entweicht, wenn sich ein Teil bewegt, ein flüssiger Stickstoffabscheider, der beim Erwärmen Gas abgibt, oder eine Ventilspindel oder ein Bellows, der sich biegt. Burps zeigen sich als Spitzen im Druckprotokoll. Wenn sie sich in regelmäßigen Abständen wiederholen, deuten sie oft auf ein virtuelles Leck, Argon-Instabilität oder ein taktend arbeitendes Ventil hin.
Chamber burps every time the wafer lift moves, I think there's a trapped pocket under the lift bellows.
In klarem Deutsch Die Kammer zeigt einen Burp, wann immer sich der Waferlift bewegt, ich denke, unter dem Bellows des Lifts befindet sich ein eingeschlossenes Gasvolumen.
Auch bekannt als
- pressure burst
- spike
Verwandte Begriffe
Virtual leak
In einer verborgenen Tasche im Vakuum eingeschlossenes Gas, das langsam entweicht und sich wie ein kleines echtes Leck verhält.
Argon instability
Periodische Druckstöße in einer Dioden-Ionengetterpumpe, wenn vergrabenes Argon wieder von den Kathoden freigesetzt wird.
Cold trap
Gekühlte Oberfläche in einer Pumpleitung, die Wasser- und Öldampf ausfriert, bevor er die Kammer oder die Pumpe erreicht.
RGA
Residual gas analyzer (Restgasanalysator): ein kleines Massenspektrometer, das bestimmt, welche Gase in einer Vakuumkammer verbleiben.