Ein Gerät, das eine bekannte, stabile leak-rate liefert, typischerweise ein Heliumreservoir hinter einer Permeationsmembran oder einer Kapillare bzw. einer gequetschten Rohrverengung, zertifiziert bei einer Referenztemperatur. Permeationstypen decken etwa 10⁻¹⁰ bis 10⁻⁷ mbar·L/s ab und driften um einige Prozent pro Kelvin, weshalb der Messwert temperaturkorrigiert wird. Techniker überprüfen den Detektor zu Beginn einer Schicht und nach jeder Wartung anhand dieses Lecks.
Calibrated leak reads 3.1E-8 against a cert of 3.0E-8, detector's good, go ahead and test.
In klarem Deutsch Das calibrated-leak zeigt 3,1E-8 gegenüber einem Zertifikatswert von 3,0E-8, der Detektor ist in Ordnung, Sie können mit der Prüfung fortfahren.
Auch bekannt als
- standard leak
- reference leak
- cal leak
Verwandte Begriffe
Helium leak detector
Auf Helium abgestimmtes Massenspektrometer, das Lecks findet und misst, indem es in das System eingesaugtes Helium detektiert.
Leak rate
Gasmenge, die pro Zeiteinheit durch ein Leck in ein Vakuumsystem eintritt, üblicherweise in mbar·L/s.
Counterflow
Anordnung eines Lecksuchers (Gegenstromprinzip), bei der Helium rückwärts durch den Auslass einer Turbopumpe strömt, um das Massenspektrometer zu erreichen.