Eine Anordnung, bei der der Prüfanschluss mit der Vorvakuumleitung der pumpeneigenen Turbopumpe des Detektors verbunden ist und nicht mit deren Einlass, sodass das Helium das Massenspektrometer durch Rückwärtsdiffusion gegen die Turbopumpe erreicht. Das Kompressionsverhältnis der Turbopumpe für Helium ist gering, sodass Helium durchgelassen wird, während schwerere Gase und Verunreinigungen zurückgehalten werden. Dies ermöglicht Prüfungen bei Einlassdrücken von einigen mbar und schützt das Spektrometer bei einem groben Leck.
Thanks to counterflow the detector starts reading at a couple of mbar, so we can spray before the chamber even crosses over.
In klarem Deutsch Dank counterflow misst der Detektor bereits bei ein paar mbar, sodass wir sprühen können, noch bevor die Kammer den Druckbereich wechselt.
Auch bekannt als
- counter-flow
- reverse flow
Verwandte Begriffe
Helium leak detector
Auf Helium abgestimmtes Massenspektrometer, das Lecks findet und misst, indem es in das System eingesaugtes Helium detektiert.
Compression ratio
Verhältnis des Auslassdrucks einer Pumpe zu ihrem Einlassdruck für ein bestimmtes Gas, gemessen bei Netto-Null-Durchfluss.
Turbomolecular pump
Hochvakuumpumpe, deren Rotorschaufeln mit zehntausenden U/min rotieren und Moleküle in Richtung Auslass stoßen.