Ein spezielles Instrument mit eigenen Pumpen und einem auf Masse 4 eingestellten Sektorfeld- oder Quadrupol-Massenspektrometer, das mit Helium als Prüfgas betrieben wird. Helium ist in der Luft mit etwa 5 ppm sehr selten, zudem leicht und inert, sodass sich selbst ein winziger Fluss durch ein Leck deutlich vom Hintergrund abhebt. Gute Geräte detektieren im Vakuummodus leak-rates von etwa 10⁻¹² mbar·L/s und zeigen die Rate nach der Kalibrierung an einem bekannten Leck direkt an.
Wheel the helium leak detector over to chamber 3, base is off and we need to find it before second shift.
In klarem Deutsch Rollen Sie den helium-leak-detector rüber zu Kammer 3, der Basisdruck stimmt nicht und wir müssen das Leck vor der Spätschicht finden.
Auch bekannt als
- MSLD
- helium mass spectrometer leak detector
- leak checker
- leak detector
Verwandte Begriffe
Counterflow
Anordnung eines Lecksuchers (Gegenstromprinzip), bei der Helium rückwärts durch den Auslass einer Turbopumpe strömt, um das Massenspektrometer zu erreichen.
Helium spray test
Leckprüfung von außen nach innen: Helium wird auf ein evakuiertes Bauteil gesprüht, während ein Detektor im Inneren danach sucht.
Sniff
Die Suche nach Helium, das aus einem unter Druck stehenden Bauteil entweicht, indem eine Schnüffelsonde langsam über Verbindungen und Schweißnähte geführt wird.
Calibrated leak
Referenzleck mit einem zertifizierten Heliumfluss, das zum Kalibrieren und Überprüfen der Messwerte eines Lecksuchers dient.
Hang-up
Helium, das nach einem großen Lecksignal im Lecksucher oder System verbleibt, das Signal hochhält und kleine Lecks maskiert.