Ein Fehlermodus von Standard-Dioden-Ionengetterpumpen beim Pumpen von Argon oder anderen Edelgasen: In den Kathoden vergrabenes Argon wird später wieder freigesputtert, was alle paar Minuten zu regelmäßigen Druckstößen führt. Systeme, die Prozessargon oder die etwa 1 Prozent Argon aus einem Luftleck sehen, verwenden stattdessen Edelgas-Diodenpumpen mit einer Tantalkathode oder Triodenpumpen. Ein Sägezahnmuster im Druckprotokoll ist die klassische Signatur.
Pressure's sawtoothing every ten minutes, smells like argon instability, is that pump a plain diode?
In klarem Deutsch Der Druck zeigt alle zehn Minuten ein Sägezahnmuster, das riecht nach argon instability, ist diese Pumpe eine einfache Diode?
Auch bekannt als
- argon pumping instability
Verwandte Begriffe
Ion pump
Ionengetterpumpe, die Gas in einer magnetischen Hochspannungsentladung ionisiert und die Ionen in Titan vergräbt.
Partial pressure
Der Anteil am Gesamtdruck, den eine einzelne Gasspezies in einem Gemisch beiträgt.
RGA
Residual gas analyzer (Restgasanalysator): ein kleines Massenspektrometer, das bestimmt, welche Gase in einer Vakuumkammer verbleiben.
Burp
Kurzer, plötzlicher Druckstoß in einem Vakuumsystem durch eingeschlossenes Gas, einen sich erwärmenden Abscheider oder ein bewegliches Teil.