Der Moment und der Druck, bei dem das Vorvakuumventil schließt und das Hochvakuumventil öffnet. Ein zu hoher Crossover trifft die Hochvakuumpumpe mit einem Gasschwall, den sie nicht bewältigen kann: Eine Kryopumpe überlastet und erwärmt sich, eine Diffusionspumpe bricht zusammen und strömt zurück, eine Turbopumpe wird stark abgebremst. Kryopumpen haben eine Crossover-Spezifikation in mbar·L oder Torr·L, sodass der maximal zulässige Crossover-Druck dieser Wert geteilt durch das Kammervolumen ist.
Cryo's rated for 150 torr-litres and the chamber's 500 litres, so cross over at 0.3 torr, not a hair above.
In klarem Deutsch Die Kryopumpe ist für 150 Torr-Liter ausgelegt und die Kammer fasst 500 Liter, machen Sie den Crossover also bei 0,3 Torr, keinen Deut höher.
Wenn sich das Kammervolumen ändert, beispielsweise nach dem Hinzufügen einer großen Vorrichtung oder eines neuen Anschlusses, berechnen Sie den Crossover-Druck neu, anstatt das alte Rezept zu kopieren.
Auch bekannt als
- crossover pressure
- cross over
Verwandte Begriffe
Rough out
Das Evakuieren einer belüfteten Kammer von Atmosphärendruck bis zum Crossover mit der Vorpumpe, bevor sich das Hochvakuumventil öffnet.
Cryopump
Kondensationspumpe, die Gas auf Oberflächen ausfriert und adsorbiert, die durch einen geschlossenen Kältekreislauf auf etwa 10 bis 20 K gekühlt werden.
Gate valve
Ventil mit vollem Durchgang und einer Schieberplatte, das eine Hochvakuumpumpe oder eine Schleuse von der Kammer trennt.
Roughing pump
Pumpe, die eine Kammer von Atmosphärendruck auf den Druck bringt, bei dem die Hochvakuumpumpe übernehmen kann.
Pump down
Das Evakuieren einer Kammer von Atmosphärendruck auf ihren Arbeitsdruck über Vorvakuum, Crossover und Hochvakuum.