Das Einlassen von Gas in ein Vakuumsystem, bis es Atmosphärendruck erreicht, damit es geöffnet werden kann. Gute Praxis ist das Venten mit trockenem Stickstoff anstelle von Raumluft, da Stickstoff weitaus weniger Wasser an den Wänden hinterlässt und der nächste Pump-down schneller geht. Ein zu schnelles Venten wirbelt Partikel auf und kann Messgeräte, Filter und rotierende Turbopumpen beschädigen. Daher nutzen Anlagen einen sanften Vent-Schritt durch eine kleine Blende, bevor ein größeres Ventil geöffnet wird.
Vent the load lock with nitrogen, not house air, we're already chasing water on this tool.
In klarem Deutsch Führen Sie den Vent der Schleuse mit Stickstoff durch, nicht mit Raumluft, wir kämpfen bei dieser Anlage ohnehin schon mit Wasser.
Lassen Sie einen kleinen Stickstoffstrom fließen, während die Kammer offen ist. Dies verhindert das Eindringen feuchter Raumluft und verkürzt den nächsten Pump-down.
Auch bekannt als
- vent up
- let up
- bring up to air
Verwandte Begriffe
Up to air
Zustand einer Kammer, die auf Atmosphärendruck belüftet wurde und offen oder bereit zum Öffnen ist.
Backfill
Das Befüllen einer evakuierten Kammer mit einem ausgewählten Gas, oft bis zu einem bestimmten Druck, anstatt mit Raumluft.
Soft pump
Langsames, gedrosseltes Evakuieren aus dem Atmosphärendruck, um das Aufwirbeln von Partikeln und das Kondensieren von Feuchtigkeit zu verhindern.
Wet
Bezeichnung für eine Kammer, deren Wände noch adsorbiertes Wasser enthalten, sodass sie langsam abpumpt und bei hohem Druck stagniert.
Atmo
Werkstattjargon-Abkürzung für Atmosphärendruck, verwendet für eine Kammer, die belüftet und zur Luft hin offen ist.