Eine Aufzeichnung des Log-Drucks im Verhältnis zur Zeit von Atmosphärendruck bis zum Enddruck. Der Vorvakuumbereich fällt schnell und steil ab, im Hochvakuum flacht die Kurve ab, sobald die Ausgasung einsetzt. Ihre Form verrät dem erfahrenen Auge, was das System begrenzt: Ein Leck führt zu einer Abflachung bei einem festen Druck, während Wasser einen langen, langsam abfallenden Auslauf verursacht. Das Speichern einer Referenzkurve bei der Inbetriebnahme der Anlage macht spätere Probleme durch Überlagerung sofort sichtbar.
Overlay the latest pump-down curve on the one from install, we're a decade high after thirty minutes.
In klarem Deutsch Legen Sie die neueste Pump-down curve über die von der Installation, wir liegen nach dreißig Minuten um eine Zehnerpotenz zu hoch.
Auch bekannt als
- pumpdown curve
- P versus t
Verwandte Begriffe
Pump down
Das Evakuieren einer Kammer von Atmosphärendruck auf ihren Arbeitsdruck über Vorvakuum, Crossover und Hochvakuum.
Base pressure
Der niedrigste Druck, den eine bestimmte Kammer nach einer festgelegten Pumpzeit ohne Prozessgasfluss erreicht.
Wet
Bezeichnung für eine Kammer, deren Wände noch adsorbiertes Wasser enthalten, sodass sie langsam abpumpt und bei hohem Druck stagniert.
Rate of rise
Prüfung, bei der eine abgepumpte Kammer isoliert und aufgezeichnet wird, wie schnell der Druck ansteigt, um Lecks und Ausgasung abzuschätzen.
Outgassing
Langsame Freisetzung von Gas aus den Oberflächen und dem Inneren von Materialien in einem Vakuumsystem.