Ein Ventil, dessen Dichtplatte quer zum Durchgang gleitet und gegen einen Sitz drückt, sodass im geöffneten Zustand eine ungehinderte Öffnung entsteht. Gate valves sitzen zwischen einer Kammer und ihrer Hochvakuumpumpe, damit eine Turbopumpe oder Kryopumpe weiterlaufen kann, während die Kammer belüftet wird, sowie zwischen Schleusen und Prozesskammern an Cluster-Anlagen. Produktionsversionen sind pneumatisch mit Positionsschaltern ausgestattet und haben eine maximale Druckdifferenz, gegen die sie geöffnet werden dürfen.
Close the gate valve before you vent, I don't want to crash another turbo this month.
In klarem Deutsch Schließen Sie das Gate valve, bevor Sie belüften, ich möchte diesen Monat nicht noch eine Turbopumpe schreddern.
Prüfen Sie vor dem Öffnen die Druckdifferenz; ein Gate valve, das gegen eine große Druckdifferenz geöffnet wird, kann seine Dichtung beschädigen und einen Gasschwall in die Pumpe jagen.
Auch bekannt als
- gate
- hi-vac valve
Verwandte Begriffe
Crossover
Punkt während des Evakuierens, an dem das Pumpen von der Vorpumpe auf die Hochvakuumpumpe umgeschaltet wird.
Turbomolecular pump
Hochvakuumpumpe, deren Rotorschaufeln mit zehntausenden U/min rotieren und Moleküle in Richtung Auslass stoßen.
Load lock
Kleine Kammer, die gepumpt und belüftet wird, um Teile ein- und auszuschleusen, ohne die Hauptprozesskammer zu belüften.
Crash a turbo
Das Zerstören des Rotors einer Turbopumpe durch Kollision mit dem Stator, meist durch abruptes Belüften bei hoher Drehzahl.
Effective pumping speed
Das tatsächlich an der Kammer ankommende Saugvermögen nach Verlusten in den Verbindungsrohren und Ventilen.