Ein gewelltes, dünnwandiges Rohr, das durch Hydroformen oder Kantenverschweißung aus gestapelten Membranen hergestellt wird und sich unter Vakuum dehnt, staucht und biegt. Bellows (Faltenbälge) isolieren Pumpenvibrationen, gleichen Fluchtungsfehler zwischen Flanschen aus und dichten die Spindeln von Ventilen und linearen Bewegungsdurchführungen ab. Ihre dünnen Wände machen sie anfällig für Ermüdungsrisse und Haarrisse. Ein Ventil, das nach vielen Zyklen undicht wird, hat daher oft einen gerissenen Bellows.
Gate valve bellows cracked after half a million cycles, the leak only shows when the valve's open.
In klarem Deutsch Der Bellows des Schieberventils ist nach einer halben Million Zyklen gerissen, das Leck zeigt sich nur, wenn das Ventil geöffnet ist.
Auch bekannt als
- flex hose
- flex line
- bellows hose
Verwandte Begriffe
Feedthrough
Abgedichtetes Bauteil, das Strom, Bewegung, Flüssigkeit oder Licht leckfrei durch eine Vakuumwand führt.
Gate valve
Ventil mit vollem Durchgang und einer Schieberplatte, das eine Hochvakuumpumpe oder eine Schleuse von der Kammer trennt.
Chase a leak
Ein Leck unbekannter Position Verbindung für Verbindung zu suchen, oft über Stunden, bis die Quelle genau lokalisiert ist.